適用于微電子工業(yè)液體工藝流體過濾及高顆粒含量氣體工藝過濾等.
MicroGF系列濾芯采用超細(xì)玻璃纖維濾材與先進(jìn)的熱熔焊技術(shù)熔封制造. 樹酯固結(jié)超細(xì)玻璃纖維濾材具有固定孔結(jié)構(gòu)，可有效防止截留污染物卸載與介質(zhì)脫落。
適用于微電子工業(yè)中光刻抗蝕劑, 各種酸堿, 有機(jī)溶劑, 去離子水等
eFlon 系列濾芯采用親水型聚四氟乙烯 (PTFE)濾膜和聚丙烯無紡支撐材料, 打褶結(jié)構(gòu)并 采用先進(jìn)的熱熔焊技術(shù)熔封制
適用于無菌包裝用潔凈氣體及無菌輸送用壓縮空氣過濾等
eFlon S 系列濾芯采用疏水型聚四氟乙烯(PTFE) 濾膜和聚丙烯無紡支撐材料, 打褶結(jié)構(gòu)并采用先進(jìn)的熱 熔焊技術(shù)熔封制造.
適用于微電子工業(yè)去離子水預(yù)過濾
eHF系列大流量過濾器濾芯采用6”大直徑結(jié)構(gòu)和打褶形式的聚丙烯濾材和支撐材料, 過濾面積大和容污能力強(qiáng), 可使過濾器和過濾系統(tǒng)具有流量高,占地空間小, 濾芯更換方便, 投資省等特點(diǎn).
用于微電子工業(yè)去離子水預(yù)過濾等
RTM 系列大流量過濾器濾芯采用6.5”大直徑結(jié)構(gòu)和打褶形式的聚丙烯濾材和支撐材料, 具有很高的過濾面積和容污能力, 可使過濾系統(tǒng)具有在低占用空間的同時(shí)具有很高的過濾流量.
適用于微電子工業(yè)去離子水預(yù)過濾等.
eHFM系列大流量過濾器濾芯采用6” 大直徑結(jié)構(gòu)和打褶形式的聚丙烯濾材和支撐材料, 過濾面積大和容污能力強(qiáng)。有多種長度濾芯可供選擇，與可調(diào)節(jié)法蘭配合使用替代袋式過濾器，可大幅改善和提高過濾效率。
適用于微電子工業(yè)去離子水預(yù)過濾等.
eHFN系列大流量過濾器濾芯采用大直徑聚丙烯熱熔噴超細(xì)纖維纏結(jié)構(gòu)成, 多層不同精度濾材變結(jié)構(gòu), 由內(nèi)而外逐層精度分級過濾,增加了濾芯容污空間和使用壽命.
適用于微電子工業(yè)去離子水預(yù)過濾等.
?RHF系列大流量過濾器濾芯采用6” 大直徑結(jié)構(gòu)和打褶形式的聚丙烯濾材和支撐材料, 具有很高的過濾面積和容污能力, 可使過濾系統(tǒng)具有在低占用空間的同時(shí)具有很高的過濾流量.
適用于微電子工業(yè)光刻抗蝕劑、各種酸堿、有機(jī)溶劑過濾, HF和BOE循環(huán)過濾. 去離子水的預(yù)過濾和終過濾，清洗循環(huán)過濾等.
MicroPES Ex 系列濾芯采用高非對稱性聚醚砜(PES)親水性濾膜打褶結(jié)構(gòu)和先進(jìn)的熱熔焊技術(shù)熔封制造.高流量，低壓力降.標(biāo)準(zhǔn)接口，安裝便捷快速.
適用于微電子工業(yè)中光致抗蝕劑, 有機(jī)溶劑, 氣體, 去離子水預(yù)過濾等
MicroPP Plus 系列過濾器濾芯由純聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)和大面積聚丙烯打褶濾材, 采用先進(jìn)的熱熔焊技術(shù)熔封制造.不含任何粘合劑和表面活性劑.
微電子工業(yè)用于光刻抗蝕劑, 各種酸堿, 有機(jī)溶劑等, 去離子水的預(yù)過濾和終過濾
MicroPES Plus 系列濾芯采用高非對稱性聚醚砜(PES)濾膜和打褶結(jié)構(gòu), 采用先進(jìn)的熱熔焊技術(shù)熔封制造。不含任何粘合劑和表面活性劑.
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